滑閥泵由于其結構特點，容量比旋片泵大得多，因此常常被用在大型真空設備上。滑閥泵有單級和雙級兩種型式。單級泵的極限壓力對小泵≤0.6Pa，對大泵≤1.3Pa（均關氣鎮(zhèn)），雙級泵的極限壓力≤0.06Pa（關氣鎮(zhèn)）。雙極2H滑閥真空泵最大抽速為300L/S。

由于滑閥泵的旋轉質量有較大的偏心，如果滑閥沒有很好的質量平衡，在運轉時會產(chǎn)生較大的振動。但泵旋轉質心的運動軌跡是形狀復雜的封閉曲線，因此小廠很難實現(xiàn)對滑閥泵慣性力的完全平衡。可以通過動平衡測試和雙缸或三缸結構做好滑閥的質量平衡。

羅茨滑閥泵結構及特點：

羅茨滑閥真空機組是由普通羅茨泵為主泵、滑閥真空泵為前級泵串聯(lián)組成的真空機組。通過真空繼電器或電接點壓力表，來實現(xiàn)羅茨泵滑閥泵的自動啟閉，自動過載保護。整套機組安裝在一個機架上，配以管道、閥門、電器操作控制箱、冷卻水管系統(tǒng)。機組結構緊湊，使用方便。

根據(jù)被抽真空系統(tǒng)的大小及極限壓力的不同，真空機組各泵之間的名義抽速之比一般在4：至10：1之間，前者較后者適用于較大真空系統(tǒng)及長時間在較低入口壓力或極限真空情況下工作。本系列機組為了防止滑閥泵停機時返油，在前級進口管道上裝有電磁充氣閥，其動作與前級泵電動機實現(xiàn)聯(lián)動，當滑閥泵停泵前，向泵口充氣，確保滑閥泵內(nèi)的真空油返回到油箱內(nèi)，同時防止真空系統(tǒng)受到真空油污染。

羅茨滑閥泵用途：

羅茨滑閥真空機組具有顯著的節(jié)能效果，真空度高，高真空區(qū)間抽氣量大，可廣泛應用于電力工業(yè)的變壓器、電線電纜、電容器的真空浸漬、真空干燥工藝中。是真空鍍膜、真空冶煉、真空熱處理、真空濾油、冷凍干燥;航空模擬試驗較理想的真空設備。如抽吸含有少量水蒸汽或少量粉塵的氣體，應加裝過濾裝置。